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SEM与TEM带的EDAX的分辨率是多少

EDAX与ED的含义:EDAX一词可指X射线能量色散分析法(EDS或EDX),也可指生产谱仪公司——美国EDAX公司。ED则主要指扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)上的能谱仪,或该技术的最早生产公司——美国伊达克斯有限公司

EDAX指的是X射线能量色散分析法(EDS或EDX)和最早生产波谱仪的公司——美国EDAX公司。ED是扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)上的一种附属分析设备——能谱仪,或最早生产能谱仪的公司——美国伊达克斯有限公司,或这项分析技术的代称。

63um尼龙网过滤筛(尼龙过滤网布200目)
(图片来源网络,侵删)

关于EDS的缩写,过去存在EDS、EDX、EDAX等不同的说法。这些缩写代表了不同的翻译方式,但到了2004年左右,相关协会统一规定,EDS即为能谱或能谱仪,而EDX则代表能谱学。尽管如此,部分文章仍使用其他说法,这反映了行业内的约定俗成。

虽然早期EDS有多种缩写,如EDS、EDX和EDAX,但现今共识是EDS代表能谱或能谱仪,而EDX则用于指能谱学。在分辨率方面,尽管许多人误认为TEM的能谱分辨率更高,但实际上,同一厂家的SEM能谱分辨率通常优于TEM,特别是在定量分析时,SEM的样品制备更为简便且厚度影响较小。

首先,关于缩写,尽管有EDS、EDX和EDAX等多种形式,但自2004年起,EDS被规范为能量分散谱,而EDX则指能谱学。尽管不同厂商和文献中可能有所差异,但了解EDS为主流用法即可。其次,关于SEM和TEM能谱的分辨率,虽然许多人认为TEM的误差更小,但实际情况并非如此。

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